低温测试采用低温箱对待测器件进行降温,在测试系统机柜之外增加制冷压缩机以及制冷箱,复用原测试系统的示波器和采样装置。增加低温测试功能后可在 -40℃ 到 200℃ 的超宽温度范围下对碳化硅功率半导体器件的动态特性进行表征,掌握功率器件在极寒和高温环境下的动态特性表现。